場發射掃描式電子顯微鏡
          　　Field Emission Scanning Electron Microscopy

場發射掃描式電子顯微鏡 (FE-SEM)

 

儀器基本規格

1. 電子槍：Schottky 熱場發

2. 加速電壓：200 V - 30 kV

3. 真空模式：環境真空(ESEM) - 10 ~ 4000 Pa (目前不開放使用)

4. 低真空(Low vacuum) - 10 ~ 130 Pa (目前不開放使用)

5. 高真空(High vacuum) - < 6e-4P

 

影像解析

1. 環境真空(ESEM) - 2.0 nm @ 30 kV (目前不開放使用)

2. 低真空(Low vacuum) - 3.5 nm @ 3 kV (目前不開放使用)

3. 高真空(High vacuum) - 2.0 nm @ 30 kV

 

載台規格

1. 5 axis (4 motorized), eucentric goniometer

2. X 50 mm (motorized)

3. Y 50 mm (motorized)

4. Z 50 mm (25 mm motorized)

5. Tilt -15° to +70°

6. Rotation 360° continuous

 

儀器功能描述

1. 掃描式電子顯微鏡(SEM -二次電子訊號SE, 背散射電子訊號BSE)

2. 能量散射光譜儀(EDS)與電子背向散射繞射分析EBSD(附加FSD-Fore-scatter detector)

3. 陰極發光(Cathodoluminescence, 僅影像分析, 無光譜圖)